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真空系統(tǒng)用泵的選擇方法

點擊次數(shù):3396 更新時間:2016-11-08

真空系統(tǒng)用泵的選擇方法?

真空系統(tǒng)是由真空泵、PLC程序控制系統(tǒng)、儲氣罐、真空管道、真空閥門、境外過濾總成等組成的成套

真空系統(tǒng)。目前,該系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于電子半導(dǎo)體業(yè)、光電背光模組、機械加工等行業(yè)。

例如有一系統(tǒng)用羅茨真空泵機組抽氣,要求在1 mbar入口壓力時有600升/秒的抽速,并長期工作,問

應(yīng)選擇多大抽速的前級泵。

先假定用30升/秒的前級泵時,壓縮比K=600:30=20得出K=20時zui大排出壓力為30 mbar。

由此得出,當(dāng)選用30升/秒前級泵時,在入口壓力低于1.5 mbar以下工作是可行的,但高于1.5 mbar

入口壓力工作時就選用大一些前級泵了。該例中,工作真空度1 mbar低于1.5 mbar,所以30升/秒的

前級泵可以滿足上述真空系統(tǒng)的抽氣要求。

另外應(yīng)當(dāng)考慮的是,對預(yù)抽時間的要求問題,如果正常工作時間遠(yuǎn)比預(yù)抽時間長,可選較小的前級泵;

假如真空室較大,而且要求很快預(yù)抽,就要用較大的前級泵,有時為了更好發(fā)揮設(shè)備的效率,機組裝

有較大的預(yù)抽泵,在正常工作后停掉它,而用較小的前級泵維持,這樣做是為了節(jié)約功率。

對羅茨真空泵機組的極限壓力的要求,也是選擇前級泵的必須考慮的,對極限真空度要求較高(達(dá)

1X10-3Pa~1X10-2 Pa壓力)一般選用雙級旋片式油封機械泵或雙級滑閥機械泵作為前級泵。極限真空

度要求在(1X10-2 Pa~1X10-1Pa)之間可選用單級油封機械泵作為前級泵,極限真空度要求在133~

1333Pa之間可選用往復(fù)式真空泵或液環(huán)式真空泵作為前級泵。

當(dāng)選用往復(fù)式或液環(huán)式粗真空泵作為羅茨真空泵的前級泵時,前級泵的抽速一般為羅茨真空泵的1/2-

1/4,不能太大,否則將使壓縮比過大,造成羅茨真空泵的排氣溫度高而不能正常工作。

選用前級泵時還必須考慮被抽氣體中是否有腐蝕性介質(zhì),是否含有可凝性氣體,是大量的還是微量

的。如果含有腐蝕性氣體,就不能選用油封機械泵,油封機械泵還不適宜抽除含有大量可凝性蒸汽的

氣體,否則將會使密封液很快乳化,抽除含有微量可凝性蒸汽的氣體時,也必須采用帶有氣鎮(zhèn)裝置的

油封機械泵作為前級泵。

為了獲得在低入口壓力(1~100pa)時的高的抽氣速率,可用一臺羅茨真空泵作為另一臺羅茨真空泵的

前級泵組成的三級或四級機組,此時羅茨真空泵之間的抽速比一般在2~5之間。

 

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